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    無花紋研磨墊化學機械拋光不同體積濃度及不同研磨顆粒直徑研磨液之矽晶圓接近實驗之平均每分鐘研磨移除深度理論模擬模式及迴歸模式建立和實驗
    • 機械工程系 /110/ 碩士
    • 研究生: 羅品翔 指導教授: 周育任 林榮慶
    • 本研究先建立不同研磨液體積濃度及不同研磨液研磨顆粒直徑之無花紋研磨墊化學機械拋光矽晶圓的研磨移除深度理論模擬模式。我們先將矽晶圓浸泡在常溫下不同體積濃度研磨液後,接著進行原子力顯微鏡實驗,計算得出浸…
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    • 全文公開日期 2024/08/31 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/31 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/31 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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